A. 去离子水设备抛光树脂怎么更换
净得瑞为您解答:
1.抛光树脂( MB-400)是由高度纯化、转型的H型阳树脂和OH型阴树脂混合而成,如果装填和操作得当,在最初的周期中即可制备出电阻率大于18.0MΩ.cm和TOC小于10ppb的超纯水,无需化学再生。
2.树脂开封后长时间暴露在空气中会吸收二氧化碳,从而影响产品的性能及使用。因此一旦拆包需尽快使用。不使用部分须小心密封,存放于避光阴凉处,环境温度以5-40℃为宜。
3.在运输、储存和装填过程中,任何无机或有机物质的接触都会使树脂受到污染,从而降低出水水质;影响运行工况。因此必须保证所有用于装填、操作的设备和水不会污染树脂。所有与树脂接触的水都必须使用高纯水(本文中所涉及到的水均指“高纯水”,即电阻率大于等于10MΩ.cm,同时TOC尽可能低于30ppb的水),所有接触树脂的设备或器具都要在使用前经过高纯水清洗。
B. 去离子水
杭州永洁达净化科技有限公司,是专业生产各类纯水与超纯水,也就是去离子水。
去离子水(deionized water)是指除去了呈离子形式杂质后的纯水。国际标准化组织ISO/TC 147规定的“去离子”定义为:“去离子水完全或不完全地去除离子物质,主要指采用离子交换树脂处理方法。”现在的工艺主要采用RO反渗透的方法制取。应用离子交换树脂去除水中的阴离子和阳离子,但水中仍然存在可溶性的有机物,可以污染离子交换柱从而降低其功效,去离子水存放后也容易引起细菌的繁殖。 在半导体行业中,去离子水被称为“超纯水”或是“18兆欧水”。
一.去离子水的处理 一体化去离子水设备
从自来水到去离子水一般要经过几步处理 :
1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质
2、然后高压通过反渗透膜
3、最后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物
4、假如此时电阻率还没有达到要求的话,可以再进行一次离子交换过程最高电阻率可达到18兆。
相对而言,蒸馏水只是先气化再冷凝,其纯度如电导率一般不如纯度高的去离子水,半导体工业中用的大多数是高纯度的去离子水
二.去离子水与其他水的区别
1. 蒸馏水:就是将水蒸馏、冷凝的水,蒸二次的叫重蒸水,三次的叫三蒸水。有时候为了特殊目的,在蒸前会加入适当试剂,如为了无氨水,会在水中加酸;低耗氧量的水,加入高锰酸钾与酸等。工业蒸馏水是采用蒸馏水方法取得的纯水,一般普通蒸馏取得的水纯度不高,经过多级蒸馏水,出水才可达到很纯,成本相对比较高。
2. 去离子水就是将水通过阳离子交换树脂(常用的为苯乙烯型强酸性阳离子交换树脂),则水中的阳离子被树脂所吸收,树脂上的阳离子H+被置换到水中,并和水中的阳离子组成相应的无机酸;含此种无机酸的水再通过阴离子交换树脂(常用的为苯乙烯型强碱性阴离子)OH-被置换到水中,并和水中的H+结合成水,此即去离子水。去离子水在现代工业中有着非常广泛的用途,使用去离子水,是我国很多行业提高产品质量的,赶超世界先进水平的重要手段之一。 由于去离子水中的离子数可以被人为的控制,从而,使它的电阻率、溶解度、腐蚀性、病毒细菌等物理、化学及病理等指标均得到良好的控制。在工业生产及实验室的实验中,如果涉及到使用水的工艺都被使用了去离子水,那么,许多参数会更接近设计或理想数据,产品质量将变得易于控制。
3. 高纯水,是指化学纯度极高的水,其主要应用在生物、化学化工、冶金、宇航、电力等领域,但其对水质纯度要求相当高,所以一般应用最普遍的还是电子工业。例如电力系统所用的纯水,要求各杂质含量低达到“微克/升”级。在纯水的制作中,水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10),但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多,至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。不过近年来电子级水标准也在不断地修订,而且高纯水分析领域的许多突破和发展,新的仪器和新分析方法的不断应用都为制水工艺的发展创造了条件。高纯水的国家标准为:GB1146.1-89至GB1146.11-89[168],目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个级别:Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级,该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。
4.、而超纯水呢,则可以认为是一般工艺很难达到的程度,如水的电阻率大于18MΩ*cm(没有明显界线),则称为超纯水。关键是看你用水的纯度及各项征性指标,如电导率或电阻率,PH值,钠,重金属,二氧化硅,溶解有机物,微粒子,以及微生物指标等。
C. 什么是去离子水
采用离子交换来制取,其原理是原水中含有的盐类如Ca(HCO3)2、Mgso4等盐类,在流经交换树脂时,阳离子Co2+、Mg2+等被阳树脂的活性基团置换,阴离子HCo3-、So42-等被阴树脂的活性基团置换,从而水就得到纯化.如原水中的重碳酸盐含量较高,应在阴阳离子交换柱中间设脱气塔,除去CO2气体,减轻阴床的负荷.一般复床(阳离子交换柱、阴离子交换柱)出水其电导率可达10s/cm以下,若水源水质较好其产水电导率可达5s/cm以下,混合离子交换柱一般作为后处理放置于复床后或反渗透系统后可使产水电导率达到18m.Ωcm的高纯水.
作用:广泛用于轻工、纺织、医药、生物、电子能,还可以用于食品药物的脱色提纯、贵重金属、化工原料的回收、电镀废水的处理。
去离子水设备适用范围超纯水经常用于微电子工业、半导体工业、发电工业、制药行业和实验室。CEDI纯水也可以作为制药蒸馏水、食物和饮料生产用水、化工厂工艺用水,以及其它超纯水应用领域。
1、制取电子工业生产如显像管玻壳、显像管、液晶显示器、线路板、计算机硬盘、集成电路芯片、单晶硅半导体等工艺所需的纯水、高纯水;
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详细资料请参考:on
D. 半导体材料国产化优惠政策
为推动我国半导体设备产业发展,最近一年来国家相继出台了三大扶持政策。专家表示,发展国产半导体装备具有重要战略意义,在政策推动下,2015年国产半导体设备业仍将保持快速增长态势。
中国电子专用设备工业协会常务副秘书长金存忠在近日举行的“2015第三届中国半导体制造装备战略峰会暨半导体设备市场年会”上表示,2014年至今国家发出了三项优惠政策支持我国半导体设备发展:一是《关于调整重大技术装备进口税收政策的通知》,对符合规定条件的国内企业为生产国家支持发展的重大技术装备而确有必要进口部分关键零部件免征关税和进口环节增值税。在这方面,集成电路、LED、太阳能电池生产设备中的16项关键设备被列入其中。
二是《关于进一步鼓励集成电路产业发展企业所得税政策的通知》,规定对符合条件的集成电路专用设备企业,在2017年前实现获利的,自获利年度起,第一年至第二年免征企业所得税,第三年至第五年按照25%的法定税率减半征收企业所得税。
三是《关于开展首台(套)重大技术装备保险机制试点工作的通知》,规定对于制造《目录》内装备,且投保“综合险”或选择国际通行保险条款投保的企业,中央财政给予保费补贴。实际投保费率按3%的费率上限及实际投保年度保费的80%给与补贴,补贴时间按保险期限据实核算,原则上不超过3年。目前共有13项半导体装备列入目录。
除上述三大扶持政策外,已经启动的1200亿规模的国家集成电路产业发展投资基金,在重点扶持晶圆设计、制造、封装领域的同时,也将扶持上游生产设备领域。中微半导体设备(上海)有限公司2014年底成为该投资基金第一个完成投资的项目,投资总额达4.8亿元。
发展国产半导体装备产业具有重要战略意义。北方微电子副总裁刘韶华表示,中国集成电路产业从跟踪走向引领的跨越,装备产业是最重要的一个环节。西方国家对中国的技术出口限制主要是高端装备。面向全球每年近400亿美元的设备市场,中国应该占有一席之地。国产装备将大幅降低中国芯片制造商的投资成本,提高中国芯片制造竞争力等。http://ic.big-bit.com/
半导体装备产业的特点在于新技术、新工艺日新月异,高度国际化,高度技术垄断和市场垄断,高资本投入,长周期回报。研究机构SEMI统计,2014年中国半导体设备市场规模为43.7亿美元,同比增长33.6%(全球增长为18%),占全球半导体设备市场的11.7%。而另一方面,国产半导体设备的市场占有率并不高,以集成电路设备为例,目前市占率六分之一都不到。
E. 半导体设备
我前段时间也学习了解了一下晶圆的制作过程,有些资料,你看看吧~@~
由半导体国际收集
晶圆清洗设备
Akrion
Applied Materials
Crest Ultrasonics
Dainippon Screen (DNS)
EV Group
FSI International
Lotus Systems
Megasonic Sweeping
SEZ (Lam Research)
Semitool
SES
Solid State Equipment
Tokyo Electron (TEL)
七星华创(SevenStar)
中联科利(United Cleaning Technology)
沈阳芯源
热处理设备
Applied Materials
ASM
ATV Technologie
Aviza Technology
Axcelis Technologies, Inc.
Axic
CVD Equipement
Kokusai Semiconctor Equipment
Mattson
Thermcraft
Tokyo Electron (TEL)
七星华创(SevenStar)
离子注入设备
Applied Materials
Axcelis Technologies, Inc.
Nissin Electric
Varian Semiconctor
北京中科信电子装备有限公司
CVD/PECVD/ALD设备
Applied Materials
Axic
AIXTRON
ASM
ATV Technologie
Aviza Technology
CVD Equipement
Hitachi Kokusai
Novellus
Oerlikon
Oxford Instruments
Tokyo Electron (TEL)
Veeco Instruments
海微芯仪半导体设备
中微半导体AMEC
七星华创(SevenStar)
沈阳科仪
PVD设备
Applied Materials
Aviza Technology
KDF
Novellus
Oerlikon(Unaxis Wafer Processing)
Oxford Instruments
Varian Semiconctor
Veeco Instruments
光刻设备
ASML
Canon
EV Group
Molecular Imprints
Nikon Precision
Suss MicroTec
Ultratech
Vistec Lithography
涂布/显影设备
Dainippon Screen (DNS)
EV Group
Sokudo Co. Ltd.
Solitec Wafer Processing
Suss MicroTec
Tokyo Electron (TEL)
沈阳芯源
刻蚀/去胶/灰化设备
Applied Materials
Aviza Technology
Axic
Hitachi High Technologies
Lam Research
Mattson Technology,Inc
Oerlikon
Oxford Instruments
Tokyo Electron (TEL)
Veeco Instruments
北方微电子
七星华创(SevenStar)
中微半导体AMEC
CMP设备
Applied Materials
Ebara Corporation
Entrepix,Inc
Kinetic Systems
Levitronix LLC
Novellus
盛美半导体
电镀系统设备
Applied Materials
ECI Technology
Novellus
Semitool
Surfect
盛美半导体
半导体工艺用石墨元件/材料
POCO Graphite
Carbone Lorraine(Le Carbone Advanced Graphites )
东洋炭素株式会社TOYO TANSO
西格里碳素集团SGL Group
F. 半导体工业中为什么要用去离子水
因为许多杂质(重金属、钠、钾等)对于半导体特性的影响很大,在半导体表面清洗时,需要去掉这些有害杂质,以免在高温处理时让这些杂质进入到半导体中,故在清洗时必须采用纯净的去离子水。
G. “去离子水”的作用及用途
”去离子水“的作用是去除了水中的离子状杂质,让水更纯净。用途很广,各行各业都有用到去离子水。
H. 什么是去离子水设备,去离子水采用的工艺有离子交换
去离子水设备,是离子交换系统。离子交换系统是通过阴、阳离子交换树脂对水中的各种阴、阳离子进行置换的一种传统水处理工艺,阴、阳离子交换树脂按不同比例进行搭配可组成离子交换阳床系统,离子交换阴床系统及离子交换混床系统,而混床系统又通常是用在反渗透等水处理工艺之后用来制取超纯水,高纯水的终端工艺,它是用来制备超纯水、高纯水不可替代的手段之一。
去离子水设备主要用途
1、化妆品行业:护肤品、洗发水、染发剂、牙膏、洗手液生产用水
2、电子工业:铝箔清洗、电子管喷涂配液、显相管玻壳清洗、沉淀、湿润、洗膜、管颈清洗、液晶屏屏面清洗和配液、晶体管和集成电路的硅片清洗用水、配制水
3、电池行业:蓄电池、锂电池、太阳能电池生产用水
4、混凝土外加剂配制用水
5、玻璃镀膜、玻璃制品清洗及灯具清洗用水
6、纺织印染工业:印染助剂配制、湿巾及面膜生产用水
7、超声波清洗用水
8、涂装行业:涂料配制、电镀配制清洗、电泳漆配制清洗用水
I. 什么设备要用去离子水
根据我们特域冷水机所接触的大部分客户的经验:
1.如果发热元器件对冷却水流的电阻有要求的话,一般都需要我们特域冷水机里面配置去离子水。2.例如一些半导体,灯泵,当冷却水是直接在上面流过的话就要去离子水了。
3.也有一些是水管道里面有铜等游离金属也是要求去离子水,以免加速铜等金属的腐蚀。